标签为“已认证”的页面如下 经认证的红外固化灯制造商 别再让机器过热了,而是应该让热量直接作用于晶圆上 在半导体制造厂中,热量本应是宝贵的资源——但前提是它不能被浪费在错误的地方。 问题在于:普通的红外灯会将能量向各个方向散发。当这些灯被安装在固化腔内时,大部分热量会照射到腔体内壁,而不是晶圆上。这不仅浪费了能源,还会使机器外部变成一个巨大的“加热器... Read more...
经认证的红外固化灯制造商 别再让机器过热了,而是应该让热量直接作用于晶圆上 在半导体制造厂中,热量本应是宝贵的资源——但前提是它不能被浪费在错误的地方。 问题在于:普通的红外灯会将能量向各个方向散发。当这些灯被安装在固化腔内时,大部分热量会照射到腔体内壁,而不是晶圆上。这不仅浪费了能源,还会使机器外部变成一个巨大的“加热器... Read more...