耐用型光刻胶烘烤加热器

在光刻工序中，即使软烘烤温度漂移0.2°C，也足以引起关键尺寸偏差并增加线边缘粗糙度，进而导致大量报废。烘烤不仅仅是预热过程，更是锁定光刻胶剖面的热预算。我们为此设计的光刻胶烘烤加热器，追求的是纳米级别的重要温度均匀性和重复性，而不仅仅是温度的绝对值。 技术上真正重要的点 我们在烘烤表面实现了...