在制造车间里，光刻胶去除装置在达到预定温度之前会处于待机状态。如果加热器的工作状态出现偏差，就会留下残留物，从而导致下一层光刻胶无法正常附着。因此，必须要有精准的热控系统，才能确保每次加热过程都能保持在设定温度范围内。 真正重要的因素是什么？ 我们设计的用于光刻胶去除的加热器采用了短波红外石英发射...

在光刻工序中，即使软烘烤温度漂移0.2°C，也足以引起关键尺寸偏差并增加线边缘粗糙度，进而导致大量报废。烘烤不仅仅是预热过程，更是锁定光刻胶剖面的热预算。我们为此设计的光刻胶烘烤加热器，追求的是纳米级别的重要温度均匀性和重复性，而不仅仅是温度的绝对值。 技术上真正重要的点 我们在烘烤表面实现了...