高能效晶圆加热器
为何我们选择使用红外光来干燥晶圆
我们来谈谈如何干燥晶圆的问题。长期以来,我们一直依靠对流方式来干燥晶圆——也就是通过加热空气来让晶圆变干。但这种方式其实有点像为了加热一片披萨而把整个房子都加热起来一样浪费能源。
因此,我们转而使用红外线技术。红外线灯可以直接将热量传递到晶圆表面,这样既更高效,又...
节能型半导体加热器
利用红外技术消除半成品的余热 说实话,半导体制造过程中会产生大量热量。长期以来,我们一直依赖电阻式加热方式,但这其实就像试图通过加热整个厨房来加热一块吐司一样——极其浪费能源。
我们现在找到了更好的方法。通过使用短波红外灯,我们可以将热量精确地传递到需要加热的地方——即晶圆上。这样就无需再为加热周...
工厂干燥系统的能源审计
不必再担心灯泡故障会毁掉整批芯片了。在高负荷的晶圆制造厂里,一旦有灯泡损坏,那简直就是一场灾难。石英管破裂后,玻璃碎片和灰尘会直接落在晶圆上,导致整个批次的产品报废,同时还需要进行大量的清洁工作。我们设计的红外灯就是为了避免这种情况发生。
防止污染扩散
我们选用高纯度的合成石英材料,因为这种材料能...