
为何我们选择使用红外光来干燥晶圆
我们来谈谈如何干燥晶圆的问题。长期以来,我们一直依靠对流方式来干燥晶圆——也就是通过加热空气来让晶圆变干。但这种方式其实有点像为了加热一片披萨而把整个房子都加热起来一样浪费能源。
因此,我们转而使用红外线技术。红外线灯可以直接将热量传递到晶圆表面,这样既更高效,又更快。此外,这种技术也有助于我们实现“绿色能源”的目标,避免使用含铅物质。
不再浪费能量在无用的地方
想象一下传统的热风炉:为了给炉子内的空气和空间加热,需要消耗大量的能源。这实在是一种浪费。而红外线技术则避免了这一点——它可以将能量直接作用于晶圆表面。这样一来,等待晶圆变暖的时间从数小时缩短到了几秒而已。由于无需再浪费能源来保持房间温度,因此电费也会大幅下降。
处理那些棘手的情况
如果使用的是无铅焊料或环保型树脂,那么温度控制就显得尤为重要。如果温度不合适,晶圆就会变形。而使用红外线技术的话,我们可以调整波长,选择短波或中波,从而适应不同的化学涂层。而且,由于没有燃烧或有害溶剂的使用,这种技术对于环境保护来说是非常理想的——没有污染物,也没有含铅成分,只有纯粹的热量。
当然,也有缺点
不过,这并非完美无缺的解决方案。因为红外线的热密度非常高,所以各种反应会发生得非常快。如果PID控制器设置不当,就有可能在不知不觉中超过目标温度,从而导致晶圆损坏。因此,必须使用高精度的传感器来精确控制温度。
我们设计的这些系统可以取代原来的对流式加热装置。这样一来,不仅可以节省空间,还能降低电费。不过需要注意的是,确保冷却风扇能够应对灯具产生的高温,否则环境温度可能会过高。