高能效晶圆加热器

为何我们选择使用红外光来干燥晶圆 我们来谈谈如何干燥晶圆的问题。长期以来，我们一直依靠对流方式来干燥晶圆——也就是通过加热空气来让晶圆变干。但这种方式其实有点像为了加热一片披萨而把整个房子都加热起来一样浪费能源。 因此，我们转而使用红外线技术。红外线灯可以直接将热量传递到晶圆表面，这样既更高效，又...