晶圆加工设备的温度传感器
如何保持100级洁净室的整体清洁度
在晶圆制造领域,哪怕只有一粒灰尘存在,都会对整批芯片造成毁灭性影响。因此,我们必须确保环境绝对清洁。在这种环境下,大多数加热元件都会成为问题——因为它们会在不恰当的时候释放气体或产生颗粒物。
正因如此,我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。这类灯泡不会引发此类问题...
智能传感器封装红外线
防止碎片飞溅:在红外灯故障时保护晶圆免受损坏
如果你曾从事半导体或传感器封装工作,那么你一定明白这种状况的糟糕程度。当高功率的红外灯突然熄灭时,生产线就会立即停止运转,整个车间简直变成了一片灾难现场。
问题不仅仅在于热量停止产生,还有玻璃碎片和化学物质会掉落到晶圆上。只要有一只灯管发生故障,就能在...
用于晶圆的精密红外传感器
为何我们要对每一个红外传感器进行严格测试 在为晶圆制造厂生产红外传感器时,不存在“足够好”这一概念。电弧或微小的绝缘故障并非单纯的技术问题,而是一场灾难——它可能会毁掉整批硅晶圆,让整个生产线陷入停滞状态。
因此,我们绝不采取冒险的做法。每个传感器在离开工厂之前,都必须经过高压耐压测试和绝缘电阻测...
氢气传感器制造用加热器
停止给整个设备加热,改为直接为传感器加热吧 在制造氢气传感器时,最不希望看到的情况就是让整个制造环境变成一个“烤箱”。
传统的加热方式效率低下,热量会四处扩散。为了给那些价值不菲的设备的内部结构加热,就需要消耗大量能源。这不仅效率低,而且还会带来很多麻烦。
因此,我们使用定向红外线灯。这样的灯不会...
生物传感器制造用红外灯
在制造车间里,生物传感器的性能取决于其热稳定性。如果光刻胶在烘烤过程中的温度变化达到30摄氏度,那么就会破坏线宽控制的准确性;而过度烘烤则会导致颗粒产生,进而使成品率大幅下降。我们设计了红外灯系统,以此来消除这些不确定性。
真正重要的因素 我们使用带有石英光学元件的短波近红外光源,这样热量可以直接...