在制造车间里，生物传感器的性能取决于其热稳定性。如果光刻胶在烘烤过程中的温度变化达到30摄氏度，那么就会破坏线宽控制的准确性；而过度烘烤则会导致颗粒产生，进而使成品率大幅下降。我们设计了红外灯系统，以此来消除这些不确定性。
真正重要的因素 我们使用带有石英光学元件的短波近红外光源，这样热量可以直接传递到晶圆上——既快速又高效，而且不会产生过热现象。这样一来，晶圆上各处的温度均匀性可保持在±0.1摄氏度以内，这意味着无论是温和烘烤还是强力烘烤，效果都保持一致。该设备可以全天候运行，没有意外停机的情况，而且不会产生任何颗粒物，完全符合1级到100级洁净室的标准。
为何适用于生物传感器制造 在生物传感器制造过程中，需要沉积多层薄膜以及精细结构，这些结构很容易受到应力影响。如果烘烤过程不够稳定，光刻胶就有可能发生变形。我们的光源能够精确控制烘烤温度，从而确保光刻和蚀刻过程的稳定性——这样可以降低CD值，同时提高线条边缘的平滑度。快速的升温速度能缩短生产周期，同时又能保持良好的控制精度。此外，较高的能效还能降低每块晶圆的制造成本。最终的效果就是更高的首次合格率，以及更少的返工次数。
需要注意的事项 光源的输出会受到光源与晶圆之间距离的影响，同时也受石英窗口清洁程度的制约。因此，该设备需要固定的焦距，并且需要定期进行维护检查。虽然集成过程相对简单，但必须确保热处理参数与所使用的光刻胶及基材特性相匹配。在开始大规模生产之前，应先进行一定的测试，以确保工艺参数的稳定性。