真空室红外加热器

在无尘室中减少碳排放：更智能的晶圆加热方式 说实话，半导体制造过程极其耗能。通常，我们依赖的是电阻式加热方式，也就是说，为了将晶圆加热到合适温度，必须先让整个腔室都升温。这显然是一种浪费能源的做法，就好比为了加热一片披萨而把整个房子都加热起来一样。 这时，与真空环境相适配的红外加热技术就派上用场了...