用于光刻机的石英玻璃防护罩

别再等待加热器了：为什么在芯片制造中红外加热更胜一筹 如果你走进那些较旧的芯片制造厂，很可能会看到许多仍在使用热空气循环来加热或固化晶圆的设备。这虽然是一种传统的方法，但它有个巨大的缺陷：效率极低。 空气其实是极差的热传导介质。使用热空气时，实际上是在等待时间——首先需要加热空气，然后再加热整个腔...