TEL 东京电子 加热灯

在晶圆加工过程中，加热过程不仅仅是温度控制的问题，它还关乎晶圆的尺寸稳定性。如果加热板的温度出现0.5°C的偏差，那么晶圆的尺寸控制就会出问题，重复性也会变得不可靠。TEL加热灯的作用就是消除这种不确定性，确保温度控制的精确性。 关键在于什么 我们选择与TEL热模块相匹配的短波红外石英-卤素发光元...