왜 웨이퍼 처리에 적외선을 사용하는가?
웨이퍼를 건조시키는 방법에 대해 이야기해보겠습니다. 오랫동안 우리는 대류를 이용해 왔습니다. 즉, 거대한 공간의 공기를 가열함으로써 웨이퍼가 마르기를 기다리는 것이죠. 하지만 이 방식은 마치 피자 한 조각을 데우기 위해 집 전체를 데우는 것과 같습니다.
그래서 우리는 적외선을 사용하기로 했습니다. 공기와 싸우는 대신, 적외선 램프는 열을 직접 웨이퍼 표면에 전달합니다. 이 방식은 더 효율적이며, 속도도 빠릅니다. 또한 이 방식은 ‘친환경 에너지’ 목표를 달성하고 납 사용을 줄이는 데 큰 도움이 됩니다.
낭비되는 에너지를 줄이세요
전통적인 열풍 오븐을 생각해보세요. 오븐의 벽과 내부 공간을 가열하는 데 엄청난 양의 에너지가 소모됩니다. 이는 낭비입니다.
적외선 방식은 그런 문제를 해결합니다. 에너지를 웨이퍼 표면에 집중시킬 수 있습니다. 속도 차이가 엄청납니다. 몇 시간을 기다려야 하는 대신, 단 몇 초 만에 준비됩니다. 이렇게 준비 시간을 단축하면 전기 요금도 줄어듭니다.
복잡한 상황도 문제없이 처리
무연 납땜재나 친환경 수지를 사용할 때는 조심해야 합니다. 온도가 적절하지 않으면 웨이퍼가 변형될 수 있습니다.
적외선 방식을 사용하면 파장을 조절하여 사용하는 화학물질에 맞게 설정할 수 있습니다. 게다가 연소나 유해한 용매가 없기 때문에 환경적으로도 유리합니다. 배출물도 없고, 납 성분도 없습니다. 오직 깨끗한 열만 있을 뿐입니다.
단점도 있습니다
물론 완벽한 방법은 아닙니다. 열 밀도가 매우 높아서 모든 것이 매우 빠르게 일어납니다.
PID 컨트롤러가 제대로 설정되어 있지 않으면, 목표 온도에 도달하기 전에 온도가 너무 높아질 수 있습니다. 잘못된 조작을 하면 웨이퍼가 손상될 수 있습니다. 따라서 정밀한 센서가 필요합니다.
우리는 이러한 시스템을 기존의 대류식 설비가 있던 자리에 그대로 설치할 수 있도록 설계했습니다. 그러면 공간도 절약되고 전기 요금도 줄어듭니다. 다만, 램프 주변의 고온을 견딜 수 있는 냉각팬이 필요합니다. 그렇지 않으면 너무 뜨거워질 수 있습니다.