왜 웨이퍼 처리에 적외선을 사용하는가? 웨이퍼를 건조시키는 방법에 대해 이야기해보겠습니다. 오랫동안 우리는 대류를 이용해 왔습니다. 즉, 거대한 공간의 공기를 가열함으로써 웨이퍼가 마르기를 기다리는 것이죠. 하지만 이 방식은 마치 피자 한 조각을 데우기 위해 집 전체...

IR을 이용한 반제품의 열 제거 솔직히 말해서, 반도체 제조 과정에서는 열 문제가 매우 심각합니다. 오랫동안 우리는 저항식 난방 방식을 사용해왔는데, 이는 마치 주방 전체를 가열함으로써 한 조각의 토스트를 데우려는 것과 같습니다. 이는 엄청난 에너지 낭비입니다. 하지...

램프 고장으로 인해 생산된 웨이퍼들이 망가지는 것을 걱정할 필요는 없습니다. 고부하가 요구되는 웨이퍼 제조 공장에서는 램프 하나가 고장나면 정말 큰 문제가 됩니다. 석영관이 파손되면 유리 조각과 먼지가 웨이퍼 위로 떨어지게 되죠. 이는 즉각적인 재앙입니다. 전체 생산...