Veeco MOCVD 히터 램프

제조 공정에서는 소프트 베이크와 하드 베이크 과정에서 발생하는 열 변동이 포토레지스트의 특성에 큰 영향을 미칩니다. 2°C만큼의 온도 변동이 있어도 치명적인 결과가 초래될 수 있으며, 그로 인해 에칭 공정에도 부정적인 영향이 생깁니다. Veeco MOCVD 히터 램프...