오존이 없는 적외선 램프

웨이퍼에 더 많은 열을 공급하는 방법 (낭비 없이) 반도체 웨이퍼를 다룰 때 화학적 오염은 큰 문제가 됩니다. 그래서 저희는 오존이 포함되지 않은 적외선 램프를 사용합니다. 하지만 진짜 문제는 얼마나 많은 열을 만들어낼 수 있는가가 아니라, 그 에너지 중 실제로 웨이...