포토레지스트 제거용 지원 히터

제조 공정에서는, 스트립 챔버가 목표 온도에 도달할 때까지는 아무런 작동도 하지 않습니다. 만약 서포트 히터의 온도가 일정하지 않으면, 잔여물이 남게 되고, 그로 인해 다음 코팅 작업 시 코팅층이 제대로 붙지 않습니다. 따라서 반복적인 가열 과정에서도 일정한 온도를...