웨이퍼에 더 많은 열을 공급하는 방법 (낭비 없이)
반도체 웨이퍼를 다룰 때 화학적 오염은 큰 문제가 됩니다. 그래서 저희는 오존이 포함되지 않은 적외선 램프를 사용합니다. 하지만 진짜 문제는 얼마나 많은 열을 만들어낼 수 있는가가 아니라, 그 에너지 중 실제로 웨이퍼에 도달하는 양이 얼마인가 하는 것입니다.
바로 여기서 금으로 코팅된 반사체가 유용해집니다.
왜 금인가?
대부분의 사람들은 알루미늄을 사용하지만, 알루미늄은 적외선 에너지를 너무 많이 흡수합니다. 반면 금은 거의 모든 적외선 광자를 효율적으로 반사해냅니다. 따라서 기계의 본체를 가열하는 데 드는 에너지를 낭비하지 않고, 그 에너지를 그대로 웨이퍼에 전달할 수 있습니다. 이렇게 하면 같은 전력으로도 훨씬 더 많은 열을 얻을 수 있습니다. 정말 효율적인 방법입니다.
열에 대한 주의사항
오존이 포함되지 않은 석영관을 사용하기 때문에 185nm 파장의 빛은 생성되지 않습니다. 이로 인해 챔버 내에 오존 가스가 들어오지 않아, 청정실에서는 필수적인 조건을 충족하게 됩니다. 하지만 단점도 있습니다. 금 반사체를 사용하면 열 밀도가 크게 증가합니다. 그러므로 냉각 시스템을 잘 관리해야 합니다. 만약 공기 흐름이 제대로 조절되지 않으면 램프나 프레임이 손상될 수 있습니다. 이는 흔한 실수이지만, 매우 비싼 대가를 치르게 됩니다.
실제 설치 방법
바닥 위에서는 거리가 매우 중요합니다. 램프와 웨이퍼의 거리가 가까울수록 열이 덜 퍼집니다. 만약 기존의 알루미늄 램프를 금 반사체가 달린 램프로 교체한다면, 즉시 차이를 느낄 수 있습니다. 웨이퍼가 목표 온도에 도달하는 속도가 훨씬 빨라집니다. 그 결과 작업 시간이 줄어들고 생산량은 증가합니다.
단 한 가지만 기억하세요: 반사체를 항상 깨끗하게 유지해야 합니다. 금 표면에 지문이나 약간의 기름 자국만 있어도 열 분포가 깨져버립니다. 그러니 반사체를 잘 관리해주면, 생산 효율도 높아집니다.