왜 우리는 강제 공기 순환 방식 대신 금 반사체를 사용하는 적외선 가열 방식을 채택하는가? 반도체 처리 분야에서 시간은 단순한 척도가 아니라, 바로 비용입니다. 부품이 한 번의 처리 과정에 더 많은 시간을 보낼수록, 그만큼 비용이 증가합니다. 많은 공장들은 여전히 열...

팹 내에서는 허용 오차를 따지는 것이 아니라, 온도 제어에 집중해야 합니다. 포토레지스트를 건조할 때 0.5°C만큼의 온도 변동이 있어도 좋은 품질의 웨이퍼가 폐기물이 될 수 있습니다. 우리는 모든 주기 동안 웨이퍼 전체의 온도를 일정하게 유지하기 위해 이러한 웨이퍼...