내구성 포토레지스트 베이크 히터

Litho 층에서, 0.2°C의 미세한 온도 편차만으로도 치수 편차가 발생하고 선단 거칠기가 증가하여 결국 많은 불량이 발생할 수 있다. 베이크는 단순한 예열 과정이 아니다. 이는 노광 전에 포토레지스트 프로파일을 고정하는 열 예산이다. 이러한 현실을 고려하여 우리...