BCB(벤조사이클로부텐) 경화 램프

라인에서 BCB 층의 열 프로파일이 변동될 때, 즉각적인 중단이 발생하지 않는다. 대신 수율이 서서히 떨어지며, 잔류 응력과 접착 불량이 수 시간 후 테스트에서 나타난다. 우리는 이러한 변동을 근본적으로 제거하기 위해 BCB 경화 램프를 개발했다. 리소그래피, 패키징...