램프 고장으로 인해 생산된 웨이퍼들이 망가지는 것을 걱정할 필요는 없습니다. 고부하가 요구되는 웨이퍼 제조 공장에서는 램프 하나가 고장나면 정말 큰 문제가 됩니다. 석영관이 파손되면 유리 조각과 먼지가 웨이퍼 위로 떨어지게 되죠. 이는 즉각적인 재앙입니다. 전체 생산...

세척 공정의 마지막 린스 후 웨이퍼가 나오는 모습을 관찰하라. 만약 건조 단계에서 열 예산이 충족되지 않으면 마이크로 풀링 현상이 발생하고, 이후의 포토레지스트 코팅이 이를 해결하려 시도한다. 이로 인해 에지 비드가 나타나며, 중요 치수가 변화한다. 결국 배치가 스크...