웨이퍼 공정용 온도 센서

클래스 100 등급의 청정실을 계속해서 깨끗하게 유지하는 방법 웨이퍼 제조 공정에서는 단 한 톨의 먼지라도 있으면 치명적입니다. 그것은 전체 칩 생산에 치명적인 영향을 미칩니다. 이런 환경에서는 대부분의 가열 요소들이 문제가 되는데, 왜냐하면 원치 않을 때에도 가스를...