클래스 100 등급의 청정실을 계속해서 깨끗하게 유지하는 방법
웨이퍼 제조 공정에서는 단 한 톨의 먼지라도 있으면 치명적입니다. 그것은 전체 칩 생산에 치명적인 영향을 미칩니다. 이런 환경에서는 대부분의 가열 요소들이 문제가 되는데, 왜냐하면 원치 않을 때에도 가스를 방출하거나 입자를 낭출하기 때문입니다.
그래서 우리는 고순도의 합성 석영 IR 램프를 사용합니다. 이 램프들은 그런 문제를 일으키지 않습니다.
석영의 장점
우리는 결정화되지 않고도 열을 견딜 수 있는 융합 실리카를 사용합니다. 저가형 유리나 저품질 석영을 사용하면, 램프가 가열되고 냉각될 때 조각들이 떨어져 나옵니다. 이는 결코 원치 않는 상황입니다.
우리의 램프는 매끄러운 상태를 유지합니다. IR 복사가 직접 웨이퍼에 닿기 때문에, 불순물이 웨이퍼 표면에 들어갈 여지가 없습니다.
공구와의 호환성
반도체 제조 공정에서 사용되는 공구들은 공간이 협소합니다. 그래서 우리는 필라멘트의 형태를 조절하여 열이 웨이퍼에 고르게 전달되도록 했습니다. 과열된 부분도 없고, 이상한 온도 차이도 없으며, 가열이나 경화 과정에서 웨이퍼가 비틀리는 일도 없습니다.
또한, 우리는 램프의 끝부분을 밀폐하는 것에도 신경을 씁니다. 내부의 할로겐 가스가 램프 안에만 머물도록 해서 진공 상태를 유지합니다.
하지만 문제는, 이러한 밀폐 장치가 매우 단단하다는 것입니다. 만약 이 장치가 고장나면 램프가 금방 손상됩니다. 이는 타협점입니다. 우리는 램프가 빨리 고장나는 것을 받아들이더라도, 청정실이 손상되는 것은 원하지 않습니다. 그래서 램프를 다룰 때는 반드시 조심해야 합니다. 정확한 정렬이 석영에 과도한 부담을 주지 않는 데 중요합니다.
램프의 작동 방식
이 램프들을 기존의 PID 컨트롤러에 연결하는 것은 간단합니다. 석영은 열을 오래 유지할 수 없기 때문에, 램프는 순식간에 가열되고 냉각됩니다. 이를 통해 웨이퍼의 온도를 더욱 정확하게 조절할 수 있습니다.
램프의 수명이 다하면 그냥 교체하기만 하면 됩니다. 아주 간단한 작업입니다. 단, 기술자들은 램프를 설치하기 전에 반드시 먼지 제거용 천과 IPA를 사용해 램프를 깨끗하게 청소해야 합니다. 깨끗하게 유지한다면 문제없이 사용할 수 있습니다.