패브 램프용 교체 필라멘트

팹 플로어에서의 리소그래피 및 베이킹 단계는 열 제어에 따라 좌우된다. 드리프트하는 램프 출력은 CD 균일성을 망치고, 필라멘트가 급격히 저하되면 라인이 중단된다. 우리는 이러한 불확실성을 없애기 위해 교체 필라멘트를 제작했다. 실제로 중요한 것은 하중 하에서의 반복...