포토레지스트 제거용 지원 히터
제조 공정에서는, 스트립 챔버가 목표 온도에 도달할 때까지는 아무런 작동도 하지 않습니다. 만약 서포트 히터의 온도가 일정하지 않으면, 잔여물이 남게 되고, 그로 인해 다음 코팅 작업 시 코팅층이 제대로 붙지 않습니다. 따라서 반복적인 가열 과정에서도 일정한 온도를...
내구성 포토레지스트 베이크 히터
Litho 층에서, 0.2°C의 미세한 온도 편차만으로도 치수 편차가 발생하고 선단 거칠기가 증가하여 결국 많은 불량이 발생할 수 있다. 베이크는 단순한 예열 과정이 아니다. 이는 노광 전에 포토레지스트 프로파일을 고정하는 열 예산이다. 이러한 현실을 고려하여 우리...