진공 챔버용 적외선 히터

클린룸에서의 탄소 배출 감축: 웨이퍼를 더 효율적으로 가열하는 방법 반도체 제조 과정을 솔직히 말하자면, 이는 엄청난 에너지를 소모하는 과정입니다. 대부분의 경우, 웨이퍼를 적절한 온도로 만들기 위해 전체 챔버를 가열해야 합니다. 이는 낭비적인 방식입니다. 마치 피자...