웨이퍼 건조를 위한 적외선 대 대류

세척 공정의 마지막 린스 후 웨이퍼가 나오는 모습을 관찰하라. 만약 건조 단계에서 열 예산이 충족되지 않으면 마이크로 풀링 현상이 발생하고, 이후의 포토레지스트 코팅이 이를 해결하려 시도한다. 이로 인해 에지 비드가 나타나며, 중요 치수가 변화한다. 결국 배치가 스크...