열 낭비를 멈추세요: 웨이퍼를 더 효과적으로 가열하는 방법 일반적인 적외선 램프의 문제점은, 열이 모든 방향으로 방출된다는 것입니다. 즉, 360도로 열이 퍼져나가는 것이죠. 웨이퍼를 가열할 때, 웨이퍼에 닿지 않는 에너지는 그저 낭비될 뿐입니다. 게다가, 그 낭비된...

웨이퍼가 아닌 기계 자체를 가열하는 것을 그만두세요. 반도체 제조 공장에서는 열이 매우 중요한 요소입니다. 하지만 열이 원래 있어서는 안 될 곳으로 가버리면 문제가 생깁니다. 문제점은, 일반적인 적외선 램프는 에너지를 모든 방향으로 방출한다는 것입니다. 이러한 램프를...

라인에서 BCB 층의 열 프로파일이 변동될 때, 즉각적인 중단이 발생하지 않는다. 대신 수율이 서서히 떨어지며, 잔류 응력과 접착 불량이 수 시간 후 테스트에서 나타난다. 우리는 이러한 변동을 근본적으로 제거하기 위해 BCB 경화 램프를 개발했다. 리소그래피, 패키징...