웨이퍼가 아닌 기계 자체를 가열하는 것을 그만두세요.
반도체 제조 공장에서는 열이 매우 중요한 요소입니다. 하지만 열이 원래 있어서는 안 될 곳으로 가버리면 문제가 생깁니다.
문제점은, 일반적인 적외선 램프는 에너지를 모든 방향으로 방출한다는 것입니다. 이러한 램프를 치유실 내부에 설치하면, 그 열의 상당 부분이 웨이퍼가 아닌 내벽에 닿게 됩니다. 이는 에너지 낭비일 뿐만 아니라, 기계의 외부를 거대한 히터처럼 만들어버립니다. 팀원들이 그 주변에서 작업해야 한다면 이는 분명 좋지 않은 상황입니다.
열을 정확한 위치에 전달하기
이 문제를 해결하기 위해 우리는 방향성을 가진 적외선 기술을 사용합니다. 일반적인 석영관 대신, 반사판이나 특수 코팅이 적용된 램프를 사용합니다.
마치 전구 대신 손전등을 사용하는 것과 같습니다. 빛의 강도를 줄여서 에너지를 정확히 목표물에 집중시킬 수 있습니다. 그렇게 되면 장비의 벽면은 필요 없는 열을 흡수하지 않으므로 시원한 상태를 유지할 수 있습니다. 원하는 온도를 웨이퍼에 맞추면서도, 장비의 나머지 부분은 시원한 상태를 유지할 수 있습니다.
주의해야 할 점들
물론 이건 그냥 “플러그를 꽂으면 되는” 간단한 해결책이 아닙니다. 정확한 설정이 필요합니다.
만약 부품이 약간이라도 중심에서 벗어나 있다면, 집중된 열을 맞지 못해 그 효과를 얻을 수 없습니다. 중요한 것은 초점입니다.
또한, 많은 에너지가 좁은 공간에 집중되기 때문에 표면의 열강도가 매우 높아집니다. 따라서 기판이 그런 열을 견딜 수 있는지 확인해야 합니다.
또 한 가지 팁: 오래된 장비에 이 램프를 설치할 때는 먼저 배선을 확인하세요. 고출력 램프는 많은 전류를 소비합니다. 만약 케이블이나 전원 공급 장치가 그만큼의 부하를 감당할 수 없다면, 장비가 손상될 수 있습니다.
실제적인 이점
“벽면 가열” 현상을 막는 것은 단순히 전기 요금을 줄이는 것 이상의 이점이 있습니다.
이는 안전 측면에서도 중요합니다. 작업자들은 화상을 입을 위험 없이 기계 주위를 자유롭게 움직일 수 있습니다. 게다가 HVAC 시스템도 안정적으로 작동할 수 있습니다. 열이 정확한 위치에 머물러 있으므로, 방을 식히는 데 드는 노력도 줄어듭니다.