제조 현장에서는 바이오센서 웨이퍼의 성능이 열적 반복성에 따라 결정됩니다. 포토레지스트를 가열할 때 30m°C의 온도 변동이 발생하면 선폭 제어가 불가능해집니다. 또한 과도한 가열로 인해 입자가 생성되면 생산 효율이 급격히 떨어집니다. 우리는 이러한 불확실성을 없애기 위해 IR 램프 시스템을 개발했습니다.
실제로 중요한 것은 무엇인가? 우리는 석영 광학 장치를 사용하여 단파장 NIR 광원을 활용합니다. 이를 통해 열이 웨이퍼에 직접 전달되어 빠르고 깨끗하게 처리됩니다. 그 결과, 활성 영역 전체에서 ±0.1°C 이내의 일관된 온도가 유지됩니다. 따라서 소프트 베이크와 하드 베이크 모두 동일한 조건에서 이루어집니다. 이 장비는 24/7으로 작동하며, 예상치 못한 다운타임이 없습니다. 또한 입자가 발생하지 않아 클린룸 클래스 1–100과 완벽하게 호환됩니다.
왜 바이오센서 제조에 적합한가? 바이오센서 제조 과정에서는 얇은 필름과 미세한 구조들이 사용되는데, 이러한 구조들은 스트레스에 취약합니다. 만약 가열 과정에서 온도가 일정하지 않으면 포토레지스트가 녹아버릴 수 있습니다. 우리의 램프는 매우 정확한 온도 제어가 가능하여 리소그래피 및 에칭 과정이 일관되게 진행됩니다. 그 결과, 선의 모서리가 더욱 매끄러워지고 CD 변동도 줄어듭니다. 빠른 온도 상승 속도 덕분에 처리 시간이 단축되며, 에너지 효율성 덕분에 웨이퍼당 비용도 줄어듭니다. 그 결과, 첫 번째 제작 과정에서의 생산 효율이 높아지고 재작업도 줄어듭니다.
주의해야 할 사항은 무엇인가? 램프의 출력은 광원과 웨이퍼 사이의 거리와 석영 창의 청결도에 영향을 받습니다. 따라서 장비는 일정한 초점 거리를 유지해야 하며, 정기적인 점검이 필요합니다. 통합 과정은 간단하지만, 열 프로파일은 특정 포토레지스트와 기판 구조에 맞게 조정되어야 합니다. 대량 생산에 들어가기 전에 먼저 간단한 테스트를 실시하여 최적의 설정을 찾아야 합니다.