바이오 센서 제작용 적외선 램프

제조 현장에서는 바이오센서 웨이퍼의 성능이 열적 반복성에 따라 결정됩니다. 포토레지스트를 가열할 때 30m°C의 온도 변동이 발생하면 선폭 제어가 불가능해집니다. 또한 과도한 가열로 인해 입자가 생성되면 생산 효율이 급격히 떨어집니다. 우리는 이러한 불확실성을 없애기...