TARC/BARC 베이킹 히터

리소그래피 공정에서 TARC/BARC 가열 과정 중에 단지 0.5도만큼의 온도 변동이 있어도, 치명적인 결함들이 발생할 수 있으며, 이러한 결함들은 검사 시점이 되어서야 비로소 발견됩니다. 따라서 필요한 것은 변수가 아닌, 일정한 값을 유지하는 열원입니다. 기술적으로...