에너지 효율적인 웨이퍼 가열기

왜 웨이퍼 처리에 적외선을 사용하는가? 웨이퍼를 건조시키는 방법에 대해 이야기해보겠습니다. 오랫동안 우리는 대류를 이용해 왔습니다. 즉, 거대한 공간의 공기를 가열함으로써 웨이퍼가 마르기를 기다리는 것이죠. 하지만 이 방식은 마치 피자 한 조각을 데우기 위해 집 전체...