이제는 적외선을 이용해 추측하는 방식은 그만두세요. 만약 여전히 구식 아날로그 온도 조절기나 수동 조작 방식에 의존하고 있다면, 그건 마치 눈이 가려진 채로 작업하는 것과 같습니다. 우리 모두 한 번쯤은 그런 경험이 있을 것입니다. 단지 다이얼을 조정한 뒤 최선을 기...

팹 내에서는 허용 오차를 따지는 것이 아니라, 온도 제어에 집중해야 합니다. 포토레지스트를 건조할 때 0.5°C만큼의 온도 변동이 있어도 좋은 품질의 웨이퍼가 폐기물이 될 수 있습니다. 우리는 모든 주기 동안 웨이퍼 전체의 온도를 일정하게 유지하기 위해 이러한 웨이퍼...