TEL (Tokyo Electron) 히터 램프

리소그래피 공정에서 가열 과정은 단순히 온도를 조절하는 것이 아니라, 치수 제어와도 직결됩니다. 히팅 플레이트의 온도가 0.5°C만 변해도 치수 제어가 제대로 이루어지지 않습니다. 반복성도 불확실해집니다. TEL 히터 램프는 이러한 불확실성을 줄여줍니다. 중요한 요소...