반도체 히터용 써모커플

IR 가열을 활용한 효과적인 온도 제어 반도체 공장의 탄소 발자국을 줄이고 싶다면, 더 이상 기존의 저항식 히터에 의존해서는 안 됩니다. 대신 적외선(IR) 램프를 사용하는 것이 좋습니다. 왜냐하면 적외선 램프는 웨이퍼에 직접 열을 가하기 때문에 주변의 다른 부분까지...