在洁净室中减少碳排放：为什么防水型红外线加热器如此有效？
说实话，半导体晶圆的清洗过程其实非常耗能。长期以来，我们一直认为，必须先让大量空气加热起来，才能把晶圆上的水滴吹干。但这样做其实是一种巨大的能源浪费——毕竟，只是为了去除表面上的几滴水而已。
我们找到了更好的方法：使用防水型红外线灯。
无需再加热空气
红外线灯的好处在于，它们不需要去加热舱内的空气。它们可以直接将能量传递到晶圆表面。这是一种更有效的方法——你不必浪费大量电能来加热整个房间，而是直接针对目标进行加热。这样一来，能耗自然就会降低。如果你想打造“绿色工厂”，这无疑是一种简单有效的减少碳排放的方式。
适用于潮湿环境
通常情况下，在清洗阶段使用高功率灯会导致问题——高湿度和液体的飞溅很容易损坏石英管或造成短路。我们通过为灯体添加特殊的防水涂层和防潮盖来解决这个问题。这样，水分就无法接触到电极，从而确保灯体能够在潮湿环境中正常工作，而不会每隔几周就坏掉。
当然，也有代价
虽然红外线灯很有效，但你仍然需要重新考虑冷却问题。因为热量过于集中，晶圆会很快干燥，但这种局部高温也可能对附近的传感器或塑料部件造成损伤。因此，你需要加强冷却系统，以控制环境温度。虽然这只是一个小的调整，但却是必要的。
最终效果
这样一来，处理时间就会缩短。既然晶圆能更快干燥，那么就能在更短时间内处理更多的晶圆。这样，每单位产品的能耗也会降低。这样一来，每块晶圆的碳排放量就能得到有效控制。只要再配上PID控制器来精确控制温度，就能轻松实现可持续发展的目标，同时又不影响生产效率。很简单吧。