
为何我们在洁净室用推车上采用红外固化技术?
在半导体制造厂中,“环保”并非只是为了装点门面而使用的概念,而是生存的必要条件。如果有一丁点的化学物质或重金属污染了晶圆,那将引发严重的问题。因此,我们放弃了传统的方法,转而使用红外固化技术来为推车上的加热器提供能量。无需化学溶剂,也无需重金属催化剂,这样就能确保无污染。
从物理学角度来说,普通的加热器只是让空气升温而已。而红外光则不同,它通过电磁辐射直接将能量传递到材料内部。这意味着,不会让受污染的空气扩散到整个洁净室里。相反,它能够精确地作用于涂层或粘合剂的分子结构,从而从内部产生热量。这个过程非常快速,而且能保持一切的清洁状态。
此外,红外固化技术还能帮助我们更轻松地满足环保标准。传统的强制对流式烤箱则存在很多问题:它们会释放挥发性有机化合物,而且通常需要含铅的焊料,这些焊料需要在高温下才能发挥作用。而使用红外固化技术的话,我们就可以使用低温、无铅的树脂。
另外,这种技术还能显著节省能源。因为不需要为整个仓库加热,只需为实际需要加热的部分供电即可。
不过,这并非毫无缺点。高强度的红外灯虽然效率很高,但也会造成较高的温度梯度。如果零件有些部位较厚,有些部位较薄,那么较薄的部位可能会在较厚的部位还没有完全固化之前就烧毁。因此,必须仔细控制灯的距离和脉冲时间,以避免零件变形。
我们设计的这些系统可以替代那些笨重的对流式装置,而且体积更小,固化时间也更短。
最后,请注意:确保推车的防护装置能够承受所使用的红外波长的能量。否则,可能会导致洁净室内的塑料制品被损坏。