如何保持100级洁净室的清洁状态
如果你在运营100级洁净室，那么你一定很清楚颗粒物污染带来的麻烦。哪怕只有一小片杂质进入洁净室，整个批次的产品就都废了。问题在于，大多数普通加热器并不适合用于这种环境——一旦遇到热循环，它们就会开始释放有害气体或出现剥落现象。
因此，我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。
为什么选择石英？
其实，我们使用的是羟基含量低的高纯度熔融石英。虽然这听起来很专业，但实际上它的作用就是确保不会给晶圆带来任何污染。与那些会随着时间推移而氧化、剥落的金属制加热器不同，石英则能保持稳定状态，将短波红外辐射直接传递到目标物体上。这样一来，就能避免浪费能量去加热周围的空气。这种方式更高效，也更为环保。
正确的安装方式
在升级洁净室设备时，需要权衡好功率与加热腔空间之间的关系。我们有各种不同长度和电压的灯具，因此它们通常可以轻松适配现有的电源系统。不过，要注意连接点——因为那里往往是问题所在。我们会使用精密加工的电极和紧密的连接器，以避免电弧产生以及金属灰尘进入系统。如果要将这些灯具安装在旧设备上，一定要仔细检查电路连接。高功率的灯具需要大量的电流，千万别让电源在刚开始使用时就损坏。
折衷点
说实话，石英虽然化学性质稳定，但却比较脆，无法承受过度的外力冲击。因此，必须小心处理安装方式。如果灯具发生振动或与金属框架发生摩擦，它就很容易破裂。所以，要确保玻璃不会受到任何机械应力。最后一点建议：不要立刻将灯具调至最大功率。最好先让它在较低功率下运行几圈，这样可以帮助去除制造过程中残留的杂质。一旦灯具达到稳定状态，就可以提供无颗粒污染的理想加热效果了。