半导体洁净室推车式加热器

为何我们在洁净室用推车上采用红外固化技术？ 在半导体制造厂中，“环保”并非只是为了装点门面而使用的概念，而是生存的必要条件。如果有一丁点的化学物质或重金属污染了晶圆，那将引发严重的问题。因此，我们放弃了传统的方法，转而使用红外固化技术来为推车上的加热器提供能量。无需化学溶剂，也无需重金属催化剂，这...