클린룸에서의 탄소 배출 감소: 왜 방수형 적외선 히터가 효과적인가?
반도체 세척 과정에 대해 솔직히 말하자면, 이 과정은 상당한 에너지를 소비합니다. 오랫동안 우리는 웨이퍼를 건조시키기 위해 엄청난 양의 공기를 가열해야 한다는 사실을 그냥 받아들여왔습니다. 하지만 이는 겨우 몇 방울의 물을 제거하기 위해 낭비되는 에너지일 뿐입니다.
우리는 더 나은 방법을 찾아냈습니다. 바로 방수형 적외선 램프입니다.
공기를 가열할 필요가 없습니다
적외선 램프의 장점은, 챔버 내부의 공기를 가열할 필요가 없다는 점입니다. 대신, 에너지를 웨이퍼 표면에 직접 전달합니다. 이는 훨씬 더 효율적인 방식입니다. 방 전체를 따뜻하게 만드는 데 수천 와트의 에너지를 사용하는 대신, 목표물에만 에너지를 집중시킬 수 있습니다. 이렇게 하면 에너지 소비가 줄어듭니다. “친환경 공장”을 만들고 싶다면, 이것은 탄소 발자국을 줄이는 데 있어 가장 쉬운 방법 중 하나입니다.
습기가 많은 환경에도 적합
일반적으로 고온 램프를 세척 단계에 사용하는 것은 문제를 야기할 수 있습니다. 높은 습도와 액체의 튀김으로 인해 석영관이 파손되거나 단락이 발생할 수 있습니다. 우리는 특수한 방수 코팅과 내습성 커버를 사용하여 램프를 보호함으로써 이 문제를 해결했습니다. 이렇게 하면 물이 전극에 닿지 않아, 램프가 습한 환경에서도 계속 작동할 수 있습니다.
단점도 있습니다
물론 완벽한 해결책은 아닙니다. 고강도 적외선을 사용하려면 냉각 시스템도 다시 고려해야 합니다. 열이 너무 집중되기 때문에 웨이퍼가 매우 빠르게 건조됩니다. 하지만 이러한 국부적인 열은 주변의 센서나 플라스틱 부품에 스트레스를 줄 수 있습니다. 따라서 주변 온도를 조절하기 위해 냉각 팬이나 히트 싱크를 강화해야 합니다. 이는 작은 조정이지만 반드시 필요합니다.
결론
결과적으로, 웨이퍼 건조 시간이 줄어듭니다. 웨이퍼가 더 빨리 건조되면, 더 많은 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 그 결과, 단위당 전력 소비도 줄어들고, 처리 시간도 단축됩니다. 이렇게 하면 웨이퍼당 탄소 배출량도 줄어듭니다. PID 컨트롤러를 사용하여 온도를 정확하게 조절한다면, 생산성을 해치지 않으면서도 지속 가능성 목표를 달성할 수 있습니다. 간단합니다.