높은 온도에서도 공장 내부를 깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100급 청정실을 운영한다면, 공기 필터만으로는 충분하지 않다는 것을 이미 알고 있을 것입니다. 진짜 문제는 가열 요소에서 나오는 기체와 그 작은 불순물들입니다.
일반적인 유리나 저품질의 석영은 그러한 고온에 견디지 못합니다. 최고 온도에 도달하면 표면이 벗겨지거나 불순물이 새어나옵니다. 웨이퍼를 다룰 때 이런 상황은 매우 위험합니다. 그래서 우리는 IR 램프에 고순도의 합성 석영을 사용합니다. 이렇게 하면 램프가 제자리에 그대로 남아 있습니다.
왜 재료가 중요한가요?
결국 중요한 것은 석영 내부에 무엇이 들어있는가 하는 것입니다. 우리는 미량의 금속 및 불순물을 제거하여, 급격한 온도 변화로 인해 발생하는 문제를 방지합니다. 그래야만 기판 위에 아무것도 떨어지지 않습니다.
또한, 필라멘트가 오랫동안 작동할 수 있도록 할로겐 가스를 사용합니다. 이렇게 하면 램프 교체 횟수가 줄어들어 가동 중단 시간도 줄어들고, 사람이 실수로 오염물을 공장 내부로 가져올 가능성도 줄어듭니다.
설계상의 세부 사항
우리는 이 램프들을 소형화하여 설계했습니다. 정밀하게 가공된 엔드 캡을 사용하여 밀폐성을 확보합니다. 만약 밀폐성이 떨어지면 할로겐 가스가 사라지고 필라멘트가 금방 손상됩니다.
전력 공급에 맞게 와트수와 전압을 조절할 수 있지만, 주의해야 할 점이 있습니다. 고왓트 밀도의 램프는 매우 강력한 열을 발생시키므로, 쿨링 시스템이 제대로 작동해야 합니다. 그렇지 않으면 램프의 외관이 변형될 수 있습니다.
설치 방법
이 램프들은 그대로 교체할 수 있도록 설계되었습니다. 케이스를 분해할 필요 없이 기존 컨트롤러에 바로 연결할 수 있습니다.
하지만 한 가지 단점이 있습니다. 고순도 석영은 가장 깨끗한 선택지이지만, 도핑된 석영보다는 약간 더 부서지기 쉽습니다.
제발, 장비를 위해 손으로 직접 램프를 만지지 마세요. 피부의 기름기가 램프에 열을 발생시켜 램프가 손상될 수 있습니다. 면장갑과 IPA 천을 사용하면 됩니다.