حفظ تمیزی اتاقهای کاملاً تمیز در سطح ۱۰۰
در صنعت تولید ویفرها، حتی یک ذره گرد و غبار نیز مشکل بزرگی است؛ زیرا میتواند منجر به تخریب کل محموله تراشهها شود. این موضوع بسیار استرسزاست. اکثر عناصر گرمایشی در چنین محیطهایی مشکلات زیادی ایجاد میکنند؛ زیرا در هنگام گرم شدن یا سرد شدن، ذراتی را آزاد میکنند.
به همین دلیل، ما از لامپهای IR ساخته شده از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم. این لامپها چنین مشکلاتی ایجاد نمیکنند.
ویژگیهای کوارتز
ما از سیلیکا فیوژن شده استفاده میکنیم؛ زیرا این ماده میتواند حرارت را تحمل کند بدون اینکه به صورت کریستالی درآید. اگر از شیشه ارزان یا کوارتز با کیفیت پایین استفاده کنید، لولهها در هنگام گرم شدن و سرد شدن شروع به ترک خوردن میکنند. این امر قابل قبول نیست.
لولههای ما صاف باقی میمانند؛ زیرا تشعشعات IR مستقیماً بر روی سطح ویفر تأثیر میگذارند، بنابراین هیچ عامل واسطهای وجود ندارد که بتواند ناخالصیها را به سطح ویفر برساند.
انطباق با ابزارها
ابزارهای مربوط به نیمههادیها فضای محدودی دارند؛ ما این موضوع را میدانیم. بنابراین، ما شکل رشتههای الکتریکی لامپها را تغییر دادیم تا حرارت به طور یکنواخت بر روی ویفر تأثیر بگذارد. هیچ نقطه داغی وجود ندارد، و مهمتر از همه، در هنگام گرم شدن یا سرد شدن، ویفر تغییر شکل نمیدهد.
ما همچنین بر روی درزبندیهای لامپها نیز تأکید زیادی داریم؛ ما مطمئن میشویم که گاز هالوژن درون لامپ باقی بماند و وارد فضای خلأ نشود.
اما مشکل اینجاست که این درزبندیها بسیار محکم هستند؛ اگر یکی از آنها خراب شود، لامپ به سرعت از کار میافتد. این یک تعادل است؛ ما ترجیح میدهیم لامپ به سرعت از کار برود، تا اینکه نشت گاز باعث خرابی اتاق کاملاً تمیز شود. بنابراین، باید با لامپها مراقب باشید؛ تطبیق دقیق لامپها برای جلوگیری از فشار زیاد بر کوارتز ضروری است.
راهاندازی لامپها
وصل کردن این لامپها به کنترلکنندههای PID موجود بسیار ساده است. از آنجایی که کوارتز حرارت را برای مدت طولانی نگه نمیدارد، این لامپها به سرعت گرم میشوند و سرد میشوند. این امر کنترل بهتری بر دمای ویفر فراهم میکند.
وقتی لامپ به حد مشخصی رسید، کافی است آن را تعویض کنید؛ این کار بسیار ساده است. فقط یادآوری میکنیم که قبل از استفاده از لامپ، آن را با دستمالهای بدون کثیفی و الکل تمیز کنید. اگر سطح لامپ کاملاً تمیز باشد، مشکلی وجود نخواهد داشت.