مشاهده یک ویفر که از شستشوی نهایی خارج میشود
اگر مرحله خشک کردن به بودجه حرارتی نرسد، هنوز هم میکروپولینگ خواهید داشت—و لایه بعدی فوتورزیست با آن مبارزه خواهد کرد. لبههای بیضی شکل ظاهر میشوند. ابعاد بحرانی تغییر میکنند. ناگهان این دسته به دور ریختن نزدیک میشود.
بنابراین تنها مسئله سریع خشک شدن نیست. موضوع توزیع یکنواخت و تمیز حرارت در سراسر سطح است.
چه چیزی در زیر سطح مهم است
خشک کردن با اشعه مادون قرمز به طور مستقیم با انرژی کوتاهموج یا میانموج به آب ضربه میزند—گرمایش سریع و بدون تماس. خشک کردن با جابهجایی از جریان هوای گرم استفاده میکند، که میتواند برای استکهای حساس آسانتر باشد، اما به شمار ذرات معلق در هوا حساستر است.
معیار واقعی یکنواختی حرارتی در سراسر ویفر است، که معمولاً ±0.1°C در نقطه تنظیم فرآیند است. اشعه مادون قرمز شما را به این نقطه میرساند با نقشهبرداری از مناطق لامپ و کنترل خروجی طیفی. جابهجایی نیاز به توزیع دقیق جریان هوا و بازچرخانی با دقت بالا دارد.
در هر صورت، ابزار باید در محدوده کلاس ۱–۱۰۰ اتاق تمیز قرار گیرد: صفر تولید ذرات و پروفایلهای دما که میتوانید روی آنها حساب کنید—چه در حال انجام پخت نرم، پخت سخت، یا خشک کردن پس از شستشو باشید.
چرا اینجا مهم است
در خطوط لیتوگرافی، لامپهای مادون قرمز کوتاهموج به سرعت به نقطه تنظیم میرسند. این بدان معناست که زمان چرخههای کوتاه و پروفایلهای پخت فوتورزیست یکنواخت در سراسر ویفر وجود دارد.
در خطوط بستهبندی، مادون قرمز میانموج همراه با جابهجایی به شما درمان کنترلشدهای میدهد بدون اینکه مواد کمک را از دست بدهید.
برای شستشو و خشک کردن، اشعه مادون قرمز از ورود هوا جلوگیری میکند، که باعث کاهش بازنشر و جلوگیری از بروز مشکلات لبه بیضی شکل میشود. نتیجه این است که بازده بیشتری، مصرف انرژی کمتر، و یک پنجره فرآیندی که پایدار باقی میماند.
جزئیات عملی که نمیتوانید از آن بگذرید
خشک کردن با اشعه مادون قرمز نیاز به دید خطی و تنظیم دقیق بازتابنده دارد. هندسه ویفر و مواد استک جذب را تغییر میدهد، بنابراین شما باید برای آن برنامهریزی کنید.
خشک کردن با جابهجایی نیاز به فیلترهای HEPA و یک دوره نگهداری دارد که شمار ذرات را تحت کنترل نگه دارد.
هر دو روش نیاز به حسگرهای دما کالیبره شده و دستورالعملهایی دارند که تأیید شدهاند، نه حدس زده شدهاند.
ما سیستم را بر اساس قطر ویفر، ولتاژ و فضای اتاق تمیز شما طراحی میکنیم. همچنین کانکتورها و قفلهای ایمنی را مشخص میکنیم تا به راحتی به خط شما متصل شوند.