در کارخانه تولید بیوسنسورها، عملکرد وایفرهای حسگرهای بیولوژیکی به قابلیت تکرارپذیری دمایی بستگی دارد. اختلاف دمایی ۳۰ مگراد در فرآیند حرارتدهی میتواند کنترل عرض خطوط روی وایفر را از بین ببرد؛ همچنین، تولید ذرات در حین حرارتدهی شدید میتواند باعث کاهش بازدهی تولید شود. ما سیستم لامپهای مادون قرمز را طوری طراحی کردهایم که این نوسانات را از بین ببرد.
چه چیزی واقعاً اهمیت دارد؟
ما از فرستندگان موج کوتاه نور مادون قرمز همراه با لنزهای کوارتزی استفاده میکنیم؛ به این ترتیب، گرما مستقیماً به وایفر منتقل میشود؛ این کار سریع، تمیز و بدون نوسانات انجام میشود. در نتیجه، یکنواختی دمایی در سطح وایفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حاصل میشود؛ این امر به این معناست که فرآیندهای حرارتدهی در تمام محصولات یکسان خواهد بود. این دستگاه به طور مداوم و ۲۴ ساعته کار میکند، بدون هیچ توقف غیرمنتظرهای؛ همچنین، این دستگاه فاقد ذرات است و کاملاً سازگار با اتاقهای پاک کلاس ۱ تا ۱۰۰ است.
چرا این روش برای تولید بیوسنسورها مناسب است؟
در تولید بیوسنسورها، لایههای نازک و ساختارهای ظریفی وجود دارد که به راحتی تحت تأثیر فشار قرار میگیرند؛ همچنین، اگر فرآیند حرارتدهی پایدار نباشد، فوتورزیست میتواند دوباره مذاب شود. لامپهای ما دمای حرارتدهی را با دقت کنترل میکنند؛ به این ترتیب، فرآیندهای لیتوگرافی و حکاکی یکنواخت خواهد بود؛ تغییرات در اندازه خطوط کاهش مییابد و صافی لبههای خطوط بهبود مییابد. سرعت بالای این فرآیند باعث کاهش زمان تولید میشود؛ همچنین، کارایی انرژی نیز باعث کاهش هزینه تولید هر وایفر میشود. نتیجه این امر، بازدهی بالاتر در تولید اولیه و کاهش تعداد محصولاتی است که نیاز به تولید مجدد دارند.
چه چیزهایی را باید تحت نظر داشت؟
خروجی لامپ به فاصله بین فرستنده نور و وایفر، و همچنین سطح تمیزی پنجره کوارتزی، حساس است؛ بنابراین، این دستگاه نیاز به فاصله ثابتی بین فرستنده نور و وایفر دارد، همچنین نیاز به بررسیهای دورهای برای جلوگیری از مشکلات وجود دارد. ادغام این دستگاه در سیستم تولید نسبتاً ساده است، اما پروفایل حرارتی آن باید با نوع فوتورزیست و ساختار زیرلایهها سازگار باشد. قبل از شروع تولید انبوه، باید یک آزمایش کوتاه انجام شود تا پارامترهای لازم تعیین شوند.