در خط تولید، تغییر ۰٫۵ درجه سانتیگراد در دمای حرارتی، میتواند باعث تغییرات نانومتری در عرض خطوط تولید شود؛ همچنین، وجود ذرات ناخواسته میتواند باعث از بین رفتن مقدار زیادی از محصولات شود. گرمکنهای مورد استفاده برای پردازش ویفرها، باید گرمایی قابل پیشبینی، یکنواخت و به اندازه کافی سریع ارائه دهند تا بتوانند با سرعت فرآیندهای تولید همگام شوند. ما گرمکنهای مادون قرمز خود را بر اساس همین الزامات طراحی کردهایم.
نکات فنی مهم:
ما از منابع مادون قرمز با امواج کوتاه استفاده میکنیم؛ این امر باعث میشود دما در عرض چند صدم ثانیه به حالت تعادل برسد و کنترل چرخههای حرارتی نیز به خوبی انجام شود. دمای سطح ویفر در محدوده ±۰٫۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ این امر باعث میشود فرآیندهای حرارتی در چارچوب الزامات لیتوگرافی انجام شوند. منابع حرارتی به گونهای قرار گرفتهاند که گرمای یکنواختی روی سطح ویفر ایجاد شود؛ همچنین، سطوح محفظه نیز خنک باقی میمانند؛ این امر باعث کاهش تولید ذرات ناخواسته میشود. همچنین، این گرمکنها با استانداردهای اتاقهای پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ سازگار هستند؛ مواد مورد استفاده دارای میزان گازهای زیانبار کمی هستند، سطوح قابل تمیز کردن هستند، و جریان هوا و سیستمهای بستهبندی نیز به گونهای طراحی شدهاند که میزان ذرات ناخواسته کاهش یابد.
چرا این روش در عمل مؤثر است؟
برای خشک کردن ویفر، منابع مادون قرمز باعث تبخیر سریع و یکنواخت حلالها میشوند؛ این امر باعث کوتاه شدن زمان خشک کردن ویفر بدون نیاز به حرارت دادن بیشتر میشود. در فرآیندهای پیشحرارتی و تزریق رزست، همین گرمای سریع و یکنواخت، کنترل بهتری بر فرآیند ایجاد میکند و باعث کاهش تعداد کارهای تکراری میشود. در نتیجه، ابعاد محصولات یکنواختتر، نقصها کمتر و بهرهوری بیشتری حاصل میشود. همچنین، مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا گرمکن تنها زمانی گرما تولید میکند که نیاز به آن باشد. قابلیت اطمینان این گرمکنها، از طریق عملکرد پایدار در طول زمان و فواصل تعمیرات قابل پیشبینی، اندازهگیری میشود؛ نه از طریق تبلیغات.
نکاتی که باید بدانید:
این گرمکنها به راحتی قابل ادغام در سیستمهای تولید هستند؛ اما تطبیق آنها با مسیر ویفر و سیستمهای تخلیه هوا نیز مهم است. راهاندازی این گرمکنها سریع است؛ اما باید توان لامپ، میزان انتشار گرما و بازخورد دمایی را متناسب با فرآیند تولید تنظیم کرد. استفاده مداوم از حداکثر توان، باعث کاهش عمر گرمکن میشود؛ بنابراین باید بازههای زمانی کارکرد و تغییرات دما را متناسب با فرآیند تولید تنظیم کرد. همچنین، باید ولتاژ و مشخصات کانکتورها را متناسب با پلتفرم مورد استفاده تنظیم کرد؛ همچنین، قبل از استفاده از این گرمکنها، باید سازگاری آنها با سایر سیستمها را بررسی کرد.