על גבי משטח העיבוד, תא ההסרה של הפוטורזיסט נשאר ללא פעילות עד שהטמפרטורה בו מגיעה לרמה הרצויה. אם החימום לא יפעל כראוי, עלולים להישאר שאריות של חומר – ואז השכבה הבאה לא תידבק כראוי. יש צורך בשליטה תרמית טובה, כדי שהטמפרטורה תישמר ברמה הרצויה, בכל פעם שמבצעים עיבוד.
מה באמת חשוב מאחורי הקלעים יצרנו את מערכת החימום להסרת הפוטורזיסט על בסיס גלאי אינפרא-אדום בגלים קצרים. גלאים אלו מגיבים במהירות, ומאפשרים שליטה מדויקת בטמפרטורה. המערכת מאפשרת רמת אחידות של ±0.1°C, כך שהעיבוד יתבצע באופן אחיד בכל האזורים של הוופר. המערכת עובדת בחדרים נקיים מדרגה 1–100, ואנו מוודאים שאין יצירת חלקיקים באמצעות מעקב בזמן אמת. בשימוש היומיומי, המערכת עובדת 24/7, עם זמן עבודה של יותר מ-5,000 שעות, עם סטייה של פחות מ-5%. המערכת עובדת עם מתח של 208–240 וולט, והיא קומפקטית מספיק כדי להתאים לשימוש במערכות קיימות. כמו כן, יש לה אינטרפייסים סטנדרטיים לחיבור לתא העיבוד.
למה זה חשוב בתהליך העיבוד הסרת הפוטורזיסט היא תהליך תרמי במהותו. כאשר החימום פועל בצורה מהירה, ניתן לצמצם את זמן ההמתנה בין העיבודים השונים, ולמנוע את בזבוז הוופרים שלא עברו את תהליך העיבוד כראוי. רמת אחידות גבוהה מאפשרת שליטה טובה בממדים החשובים לאחר העיבוד, וכך ניתן להשתמש בכמויות קטנות יותר של חומרים. התוצאה היא זמן עיבוד צפוי, פחות צורך בעיבוד חוזר, וחיסכון אמיתי באנרגיה.
מה צריך לבדוק בעת ההתקנה יש לוודא שהחיבורים של המערכת תואמים, ושהגלאים ממוקמים במיקום הנכון ביחס לוופר. גלאי אינפרא-אדום בגלים קצרים מחמם במהירות, אך יש צורך בהגנה מתאימה כדי שהחומרים השונים לא יישרפו. כאשר משנים את ההגדרות של המערכת, יש לבצע כיול קצר, ולוודא שהמערכת מתאימה לתנאי החדר הנקי. אנו שולחים את השרטוטים של האינטרפייסים מראש, כדי למנוע בעיות בהתקנה.