על גבי משטח העיבוד, תא ההסרה של הפוטורזיסט נשאר ללא פעילות עד שהטמפרטורה בו מגיעה לרמה הרצויה. אם החימום לא יפעל כראוי, עלולים להישאר שאריות של חומר...

ברצפת הליתוגרפיה, אפיית ריכוך שסטייה של 0.2°C בלבד מספיקה כדי לגרום להטיית מימדים קריטיים ולהגברת מחוספסות קצוות הקווים — ובפתאומיות אתם מפסידים הרבה...