בחדר הייצור, שינוי של 0.5°C בפרופיל החימום יגרום לשינוי ברוחב הקווים ברמה של ננומטרים, ועלייה פתאומית בטמפרטורה עלולה להרוס כמויות גדולות של מוצרים. יש להשתמש במחממים מסוג CSP שיספקו חום איכותי, יציב ומהיר, כדי שיוכלו לעמוד בקצב העבודה של המכשיר. אנו תכננו את המחממים האינפרא-אדומים שלנו בהתאם לדרישות אלו.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים במקורות אור אינפרא-אדום בעלי גל אור קצר, שמאפשרים עלייה מהירה בטמפרטורה – כך שהטמפרטורה מגיעה לרמה הרצויה תוך זמן קצר מאוד. השליטה בטמפרטורה נשמרת ברמה של ±0.1°C, כך שהחימום נעשה בצורה אחידה. המחממים ממוקמים בצורה שתאפשר חימום אחיד של כל שטח הווופר, וכך נשמרות טמפרטורות נמוכות בגוף המכשיר, מה שמפחית את ייצור החלקיקים. המחממים מתאימים לתנאי חדר נקי מסוג 1–100: החומרים שמהם הם עשויים אינם פולטים גזים, המשטחים ניתנים לניקוי, וזרימת האוויר והאטימה של המכשיר נשלטים כך שהרמות של חלקיקים יישארו נמוכות.
למה זה עובד בפועל? לצורך ייבוש הוופר, האינפרא-אדום מאפשר אידוי מהיר ואחיד של החומרים המוצקים, מה שמקצר את זמן הייבוש מבלי לחמם את הוופר. בתהליכי חימום מוקדם של הפוטורזיסט, החום המהיר והאחיד מאפשר שליטה טובה יותר בפרופיל החימום, וכך יש פחות צורך בתיקונים. התוצאה היא ממדים עקביים יותר, פחות פגמים, וקצב ייצור גבוה יותר. גם צריכת האנרגיה פוחתת, מכיוון שהמחממים פועלים רק כשיש צורך בהם, ולא פועלים באופן מתמיד. האמינות של המחממים נמדדת על ידי פעולה ארוכת טווח עם פלט יציב ומשך תחזוקה צפוי, ולא על ידי שיווק.
דברים שצריך לדעת: המחממים האלו ניתנים לשילוב בצורה טובה, אך חשוב לוודא שהם ממוקמים במיקום הנכון ליד הוופר, ושהאוורור תקין. ההתקנה שלהם מהירה, אך יש צורך להתאים את עוצמת החום, האמידות של המחממים והשליטה בטמפרטורה לתהליך הייצור. פעולה מתמדת בעוצמה המרבית עלולה לקצר את חיי המחממים, לכן יש לתכנן את משך הפעולה ואת שינויי הטמפרטורה בהתאם לתהליך הייצור. יש להתאים את המתח והחיבורים של המחממים לפלטפורמה, ולוודא שהם תואמים למערכות הנוספות של המכשיר, לפני שמשתמשים בהם בייצור.