מחמם להסרת חומר הפוטורזיסט

על גבי משטח העיבוד, תא ההסרה של הפוטורזיסט נשאר ללא פעילות עד שהטמפרטורה בו מגיעה לרמה הרצויה. אם החימום לא יפעל כראוי, עלולים להישאר שאריות של חומר...